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ZYGO新一代激光干涉儀

更新時間：2020-09-11
瀏覽次數：5669

ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire™激光干涉儀
繼承了工業(yè)標準GPI™激光干涉儀系列的所有優(yōu)點，融合了機械相移技術、創(chuàng)造性的數據采集技術、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動補償軟件、非球面測量技術和波紋抑制技術等，是ZYGO技術的集中體現。所有VeriFire™系列產品都能提供標準的干涉測量，每種型號均具有特殊的應用。

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品牌	其他品牌	價格區(qū)間	面議
產地類別	進口	應用領域	電子,交通,冶金,航天,汽車

ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire™激光干涉儀，繼承了工業(yè)標準GPI™激光干涉儀系列的所有優(yōu)點，融合了機械相移技術、創(chuàng)造性的數據采集技術、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動補償軟件、非球面測量技術和波紋抑制技術等，是ZYGO技術的集中體現。所有VeriFire™系列產品都能提供標準的干涉測量，每種型號均具有特殊的應用。Verif ire"系統(tǒng)真正的斐索型激光光路設計延續(xù)了zYG0在面形計量行業(yè)*與倫比的經驗。共光路的設計結合ZYG0**的采集算法，和功能強大的批軟件實現了高精度的表面計量與良好的分析能力。

關鍵性能：

? 斐索型共光路系統(tǒng)保證精密測量
? 友好的圖形用戶界面，易于生產線上操作
? 創(chuàng)新箅法使其在振動環(huán)境中也能實現準確計量
? 利用良好的過程控制技術，快速提取測試中不變的信息
? 每一幀數據都將振動信息凍結

所有 Verifire™ 系列產品都能提供標準的干涉測量,每種型號均具有特殊的應用,列于下表:

型號:	XPZ	QPZ	ATZ	MST	Asphere
核心技術:	相位移式干涉儀 (PSI)			傅立葉轉換相位移式干涉儀	**非球面演算法相位移式干涉儀
光源:	點光源		點光源和 Ring of Fire™環(huán)形光源(波紋抑制)
變焦:	自動 1-6X		數位控制 1-5X
聚焦:	自動		數控步進焦距控制
解析度:	640 × 480 圖元	1k × 1k 圖元
幀速:	75 Hz	100 Hz	43 Hz

集成大量常用測量程序模塊

?    多個樣品的同時分析
?   球面曲率半徑的測量
?   角錐和棱鏡測量
?   雙球面和三平板的測量
?   相對角度和楔板楔角的測量
?   材料均勻性的測量
?   傅立葉變換移相干涉測量(MST型)
?   動態(tài)設備如MEMS的測量
?   薄膜上下層形貌和厚度的測量
?   金屬零件的測量

簡單的定制過程，用戶可調

?   設定數控采集和數據處理過程中的各種參數
?   選擇需要顯示的圖像曲線和數據結果
?   幾百種符合工業(yè)標準的數據可供選擇
?   自定義屏幕上各種窗口的編排
?   保存和輸出每個樣品參數測量.分析設定數據結果
?   適用于工業(yè)化生產的軟件
?   質量控制--自動顯示”合格/不合格”
?   編程功能--儀器自動按用戶所編程序模式運行.產生相應的信息
?   根據用戶定義的計算公式，產生相應的結果
?   實時屏現SPC
?   自動數據保存和統(tǒng)計
?   應用程序”鎖定“功能

強大的數據分析功能

?   數據濾波和剪輯
?   像差計算
?   PSF和MTF圖
?   斜率圖/功率譜密度/環(huán)繞能
?   ASCII和"XYZ"數據格式
?   Zernike分析
?   數據和圖像加減、縮放、旋轉和轉換
?   ZEMAX、CodeV和0SL0數據格式

系統(tǒng)

測量功能	精密測量各種反射面和光學系統(tǒng)的表面面形、精密測量光學系統(tǒng)的傳輸波前
測量技術	QPSI快速機械相移模式和傳統(tǒng)的機械相移干涉模式（PSI）
校準系統(tǒng)	快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點定位于十字線)
測量光束直徑	4″（102mm）或6″（152mm）
對準視場范圍FOV	4″：±3°；6″：±2°；
光學中心線	4.25″（108mm）
激光光源	大功率穩(wěn)頻氦-氖激光，III*
波長	633 nm
頻率穩(wěn)定度	< 0.0001 nm
相干長度	＞100m
成像分辨率	1024 x 1024像素
幀速	100Hz（PSI）
數據采集時間	130-300ms
數據模式	8位
放大	電控1-5X
偏振	接近圓偏振（1.2：1或者更好）
光曈調焦范圍	4″：±2.5m；6″：±5.5m；
計算機和軟件	高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO**軟件 MetroproTM 9和MetroproTM X（2）
安裝構造	水平臥式或垂直立式
附件	詳細參考ZYGO激光干涉儀附件向導文件，OMP-0463
尺寸(長x寬x高)	4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.）
重量	4″:≤85lb（38Kg）；6″:≤100lb（45Kg）
電源	100-240VAC，50/60Hz

工作環(huán)境：

溫度	15°C - 30°C (59°F - 86°F)
溫度變化率	＜1.0°C/15min
濕度	相對濕度5% - 95% , 無凝結
隔振	QPSI模式可以在振幅不超過150nm的震動環(huán)境下進行測量；機械移相測量模式推薦使用被動隔振系統(tǒng)。